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SIC-I 系列離子源電源
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SIC-I
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產品介紹
參數
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SIC-I系列離子源電源技術規格 |
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SIC-I系列離子源電源用于霍爾離子源的工作電源，電源提供了霍爾離子源工作所需的燈絲電源、陽極電源。SIC-I系列離子源電源的燈絲電源和陽極電源均采用了開關方式，具有良好的穩定性及較高的工作效率 |
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電源功率 |
燈絲電源1.5KW，陽極電源5KW |
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輸入電源 |
三相四線制380V±10％50-60Hz |
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燈絲電源 |
輸出電壓AC36V |
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輸出電流AC40A |
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陽極電源 |
輸出電壓DC300V空載 |
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輸出電流DC20A |
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輸出電流精度 |
優于1％ |
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冷卻方式 |
風冷 |
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使用環境 |
環境溫度 0-40℃ |
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通訊方式 |
模擬 |
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說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 |
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無
下一個
無
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中頻電源、中頻磁控濺射電源、雙極脈沖偏壓電源、直流磁控濺射電源、磁控濺射電源、高功率脈沖磁控濺射電源、HPPMS、中頻磁控濺射、雙極脈沖偏壓
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