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SIC-II 系列離子源電源
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SIC-II
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產品介紹
參數
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SIC-II系列陽極層型離子源電源技術規格 |
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SIC-II系列離子源電源用于陽極層型離子源的工作電源，電源提供了不同工作時段所需的陽極電壓。SIC-II系列離子源電源采用高頻開關方式，具有良好的穩定性及較高的工作效率 |
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電源功率 |
15KW |
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輸入電源 |
三相四線制380V±10％50-60Hz |
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陽極電源電壓 |
DC0-1000V,DC0-3000V |
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陽極電源電流 |
DC0-15A,0-5A |
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輸出特性 |
恒流/恒壓 |
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輸出電流精度 |
優于1％ |
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冷卻方式 |
風冷 |
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使用環境 |
環境溫度 0-40℃ |
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通訊方式 |
模擬/RS485/RS232 |
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說明：電源的輸出特性可根據使用需要作相應調整 |
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無
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中頻電源、中頻磁控濺射電源、雙極脈沖偏壓電源、直流磁控濺射電源、磁控濺射電源、高功率脈沖磁控濺射電源、HPPMS、中頻磁控濺射、雙極脈沖偏壓
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